スピンコーター販売・レンタルをご提供しています。初めてのスピンコーターをご使用の方にも 安心サポート。 資産化することなく、その時々に応じた効果的な運用を可能にします。研究開発・少量生産・装置開発など短期間のご使用から長期間まで、お客様のご使用ニーズにあわせてスピンコーターのレンタルを行っています。最大基板サイズ250mm□まで対応可能です。
弊社のスピンコーターはインナーカップ方式による面内分布向上、薬液の軽減にも対応しています。また、卓上スピンコーターの標準機の販売からカスタマイズ仕様まで、製造・販売を行っていますので価格など、お気軽にお問い合わせ下さい。
スピンコーター動画
スピンコーター動画（インナーカップ方式）
- スピンコーター装置の導入が難しい。
- 既存の装置が故障した時。
- 急遽、スピンコーターが必要になった。
- スピンコーターの長期間貸出、レンタル希望(1か月間～1年間以上)
- 保守、メンテナンス、固定資産税、管理コストを抑えたい。
- 月額・分割払いが可能。
- 装置トラブル・不具合時の修理費用は発生致しません。
- 中途解約・解除が可能。
| 対象サイズ | MAX200mm□基板 （対角300mm以内） |
|---|---|
| 装置重量 | 50kg |
| カップ外径 | φ500mm |
| カップ材質 | SUS＋ミガキ#400 |
| カップ処理 | オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） |
| 基板固定方法 | 真空吸着方式 |
| テーブル | オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい |
| スピンモータ | ACサーボモータ |
| 回転数 | 20～2000rpm （基板サイズ、厚みによる） |
| 回転精度 | ±2rpm |
| 回転表示 | タッチパネル上にデジタル表示 |
| 回転制御 | タッチパネルにて設定 |
| 対象サイズ | MAXφ12インチ・250mm□ |
|---|---|
| カップ外径 | φ500mm |
| カップ材質 | SUS+ミガキ |
| 基板固定方法 | 真空吸着方式 |
| テーブル | デルリン製（その他材質） |
| スピンモーター | ACサーボモータ |
| 回転数 | 20～6000rpm |
| 回転精度 | ±2rpm |
| 回転表示 | タッチパネル上にデジタル表示 |
| プログラム数 | 100パターン 10ステップ |
| 対象サイズ | MAXφ6インチ・150mm□ |
|---|---|
| カップ外径 | φ300mm |
| カップ材質 | SUS+ミガキ |
| 基板固定方法 | 真空吸着方式 |
| テーブル | デルリン製（その他材質） |
| スピンモーター | ACサーボモータ |
| 回転数 | 20～9000rpm |
| 回転精度 | ±2rpm |
| 回転表示 | タッチパネル上にデジタル表示 |
| プログラム数 | 100パターン 10ステップ |
| 対象基板サイズ | 10~50㎜□(2インチウエハ) |
| 装置寸法 | 140w×205d×195hmm |
| 重量 | 3.5kg |
| 吸着テーブル | 材質(デルリン)/真空吸着(真空ポンプ内蔵) |
| カップ外形 | Φ130mm(材質：SUS) |
| 回転数 | 8000rpm(MAX) |
| 制御方法 | 加速時間・回転数・保持時間・減速時間 |
| インターロック | 安全蓋・停止ボタン |
| 外観寸法 | 645W×495D×200mmH |
| 有効寸法 | 400×500mm |
| 温度 | MAX350℃ |
| 基板受け | プロキシピン受け0.2mmt~ 安全蓋付き |
| 温度分布 | 120℃±3℃（反射板にて、精密な温度制御が可能） |
| 排気ポート | Φ50 |
| 架台 | オプション |
研究開発向けに多くの実績あり
- 素材・材料開発
- 精密部品
- 医薬品研究用途
- 自動車精密金型部品
- 化粧品
- 電子デバイス・半導体
- 大学・産総研
お問合せ下さい。担当者よりレンタル価格表をご連絡させて頂きます。
- 関東圏外ですが、レンタルは可能ですか？
- 日本全国可能です。
- スピンコーターの見学は可能でしょうか？
- 可能です。装置を見学いただき、操作性などご説明致します。
- スピンコーターの新規購入は、可能ですか？
- 可能です。標準機から自動機・カスタマイズ装置まで、お客様の仕様にあわせ幅広く対応させて頂いております。
- サポート体制はどうなってますか？
- まずは弊社にご連絡下さい。
- スピンコーターの運搬、搬入について教えてください。
- 専用通箱での発送となります。（返却時の送料はお客様のご負担となります。）
搬入・搬出作業が必要なケースは、別途費用が発生致します。
発送時の国内運送費（車上渡し）はレンタル費用に含まれております。
- ユーティリティーについて教えて下さい。
- 各種カタログをダウンロード下さい。詳細なご説明をさせて頂いております。
- 標準基板サイズ以外のステージ製作も対応可能でしょうか？
- 特殊基板サイズ用のステージの新規製作の対応は可能です。
- レンタル費用について教えて下さい。
- お問い合わせ下さい。担当者よりご連絡申し上げます。
お支払いは月々の経費会計処理で済みます。（その他に条件が御座いましたら別途ご相談下さい）
- 中途解約はできますか？
- 契約中にスピンコーターが不要になった場合には、中途解約が可能です。
解約の際は別途解約精算費用が発生致します。
（実際に使用された期間の料率が適用されますので、その差額分を申し受けます。）
- 卓上のスピンコーターの新規購入は、可能ですか？
- 可能です。標準機からカスタマイズ装置まで、お客様の仕様にあわせ幅広く対応させて頂いております。
- 装置トラブル・不具合発生時はどうなりますか？
- 弊社が責任を持って装置修理・対応を行います。修理費用は発生致しません。
（但し本装置の取扱とは異なるご使用方法で発生した故障はお客さまのご負担になります）
- スピンコーターのカップの洗浄方法を教えて下さい。
- スピンコーターの安全蓋を開放し、資料台を脱着します。カップは2重構造となっており取り外しが可能です。洗浄剤としては希釈剤、溶剤、アルコールなどを使用してカップ表裏面を洗浄し保管下さい。
- スピンコーター・スリットコーターについて
- 電子デバイス製造装置で培ってきた技術を応用し、ディスプレイ製造分野においてもさまざまなコーターを開発しています。
液晶ディスプレイ分野においては、TFT / TN-STNプロセス用の高感度フォトレジストやカラーフィルターのブラックマトリクス形成用のフォトレジストなど、各種用途に最適なスピンコーター・スリットコーターを提供してきました。主な用途としては液晶ディスプレイ、有機EL、タッチパネル、半導体プロセスに使用されております。フォトレジストなどの材料のほかに、高精度のコーティングを行うことができるスリットコーターやコート&スピン方式の塗布装置も開発しております。
さらに製造プロセスの効率化を図るために、独自に開発した現像装置や洗浄装置を製品化し、フォトレジスト材料と各種プロセス機器の相乗効果により優れた生産効率に加え、最適なプロセス技術を提供しています。
- どのような塗布方式がありますか？
- スピンコート法 、カーテンコート法、バーコート法、ワイヤーコート法、スリットコート法、凸版印刷法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、 フレキソ印刷法、オフセット印刷法などのコーティング法、若しくは印刷法により塗布することができます。
- スピンコーターの塗布実例について教えて下さい
- 薄膜の作成では電極の付いたITOガラス基板等をスピンコーターのターンテーブルに置き、付属の真空ポンプで引く事によりガラス基板を吸着し固定します。
固定したガラス基板の上にDMF等の溶媒に溶かした(PVDF/TrFE)溶液を一定量滴下し一定回転数で一定時間回すことにより、遠心力を利用して均一な薄膜をガラス基板上に作成します。
- レジストとは？
- 主に工業用途で使用される、物理的、化学的処理に対する保護膜、及びその形に使用される物質のことです。
諸般の製造プロセス内で、スリットコーター、スピンコーター、ディップコーターなどの処理を施す際、被処理物表面の一部を樹脂などで保護し、処理をしたあとに保護膜を剥離することで、被処理物の所望の部分のみを処理することができる。この手法に使われる保護膜をレジストと言います。
処理に耐える(resist)事からこの名がついています。 用途や塗り分け（パターニング）方法で幾種類かに分類されます。
