| 用途 | スピン方式による成膜装置 |
|---|---|
| 方式 | インナーカップ式スピンコーター |
| 基板サイズ | 600mm□・400mm□・200mm□ |
| カップサイズ | φ1300mm |
| 回転数 | 30～1000rpm |
| 付帯設備 | レジスト自動供給システム クリーンユニット 液滴下用スイングアーム |
| 用途 | スリットノズルによる成膜装置 |
|---|---|
| 方式 | スリットコーティング |
| 基板サイズ | 730×920 t=0.5mm |
| 搬送ステージ | リニアモーター |
| ノズル上下駆動 | サーボモーター |
| 塗布膜厚 | 200μm（wet） |
| 粘度 | 5000cp（高粘度） |
| 塗布液 | ポリイミド |
| 用途 | フォトマスク洗浄装置 |
|---|---|
| 方式 | オープンカップ式スピン洗浄 |
| 付帯設備 | 自動搬送ロボット 反転検査ユニット 薬液調合ユニット |
| 基板サイズ | 508×650 t=4.8mm 700×800 t=7.8mm |
| カップサイズ | φ1500mm |
| 回転数 | 30～800rpm |
| 洗浄プロセス | メガソニックシャワー ブラシスクラブ洗浄 |
| 用途 | マイクロナノコーティング 精密部品の多目的処理 (機能性フィルム・ウエハ・光学レンズ) |
|---|---|
| 装置構成 |
・LD/ULD(自動搬送) ・DIPコーティング槽 ・超音波処理槽 ・カスケード槽 ・シャワーリンス ・温風乾燥 ・装置内温湿度管理システム |
| 用途 | 有機ELセル基板洗浄 多品種・大容量バスケット搬送 省スペース、高機能を低コストで実現 |
|---|---|
| 装置構成 |
・LD/ULD(自動搬送) ・洗剤処理槽 ・温純水リンス ・ファイナルリンス ・温純水引下げ乾燥 ・温風乾燥 |
| 用途 | 有機溶剤洗浄 精密部品の多目的処理 (機能性フィルム・ウエハ・光学レンズ) |
|---|---|
| 装置構成 | LD・有機処理槽・ULD 自動搬送ロボット 速度可変搖動機構 (ストロークMAX400mm) 自動消火システム |
| 用途 | 精密部品・光学部品などの洗浄後の乾燥処理 |
|---|---|
| 装置構成 | カセット投入・減圧・超音波洗浄 ファイナル洗浄・ベーパー洗浄 真空乾燥・復圧・カセット払出 蒸留方法 自動連続循環 熱源 熱媒油による間接加熱 |
| 安全機能 | 安全増防爆対策/各種異常警報 |
| 使用薬液 | 炭化水素・有機溶剤・NSクリーンなど |
| 真空ポンプ | ドライ真空ポンプ仕様 |
| 用途 | 用途 液晶基板有機物洗浄 液晶・有機EL・機能性フィルム・ウエハ |
|---|---|
| ランプ有効長 | 600mm |
| ランプ灯数 | 5灯 |
| 照度 | 50mW/cm2（140mW/cm2） |
| ステージ 搬送速度 |
0.5～5.8m/min |
| ワークサイズ | 600×700mm |
| 雰囲気 | N2・CDA・大気中 |
| 照射距離 | 0.5～30mm ランプ～ステージ間 |
- 関東圏外ですが、レンタルは可能ですか？
- スピンコーターの見学は可能でしょうか？
- サポート体制はどうなってますか？
- スピンコーターの運搬、搬入について教えてください。
- ユーティリティーについて教えて下さい。
- 標準基板サイズ以外のステージ製作も対応可能でしょうか？
- レンタル費用について教えて下さい。
- 中途解約はできますか？
- 卓上のスピンコーターの新規購入は、可能ですか？
- 装置トラブル・不具合発生時はどうなりますか？