| 用途 | スピン方式による成膜装置 |
|---|---|
| 方式 | インナーカップ式スピンコーター |
| 基板サイズ | 600mm□・400mm□・200mm□ |
| カップサイズ | φ1300mm |
| 回転数 | 30～1000rpm |
| 付帯設備 | レジスト自動供給システム クリーンユニット 液滴下用スイングアーム |
| 用途 | スリットノズルによる成膜装置 |
|---|---|
| 方式 | スリットコーティング |
| 基板サイズ | 730×920 t=0.5mm |
| 搬送ステージ | リニアモーター |
| ノズル上下駆動 | サーボモーター |
| 塗布膜厚 | 200μm（wet） |
| 粘度 | 5000cp（高粘度） |
| 塗布液 | ポリイミド |
| 用途 | フォトマスク洗浄装置 |
|---|---|
| 方式 | オープンカップ式スピン洗浄 |
| 付帯設備 | 自動搬送ロボット 反転検査ユニット 薬液調合ユニット |
| 基板サイズ | 508×650 t=4.8mm 700×800 t=7.8mm |
| カップサイズ | φ1500mm |
| 回転数 | 30～800rpm |
| 洗浄プロセス | メガソニックシャワー ブラシスクラブ洗浄 |
| 用途 | マイクロナノコーティング 精密部品の多目的処理 (機能性フィルム・ウエハ・光学レンズ) |
|---|---|
| 装置構成 |
・LD/ULD(自動搬送) ・DIPコーティング槽 ・超音波処理槽 ・カスケード槽 ・シャワーリンス ・温風乾燥 ・装置内温湿度管理システム |
| 用途 | 有機ELセル基板洗浄 多品種・大容量バスケット搬送 省スペース、高機能を低コストで実現 |
|---|---|
| 装置構成 |
・LD/ULD(自動搬送) ・洗剤処理槽 ・温純水リンス ・ファイナルリンス ・温純水引下げ乾燥 ・温風乾燥 |
| 用途 | 有機溶剤洗浄 精密部品の多目的処理 (機能性フィルム・ウエハ・光学レンズ) |
|---|---|
| 装置構成 | LD・有機処理槽・ULD 自動搬送ロボット 速度可変搖動機構 (ストロークMAX400mm) 自動消火システム |
| 用途 | 精密部品・光学部品などの洗浄後の乾燥処理 |
|---|---|
| 装置構成 | カセット投入・減圧・超音波洗浄 ファイナル洗浄・ベーパー洗浄 真空乾燥・復圧・カセット払出 蒸留方法 自動連続循環 熱源 熱媒油による間接加熱 |
| 安全機能 | 安全増防爆対策/各種異常警報 |
| 使用薬液 | 炭化水素・有機溶剤・NSクリーンなど |
| 真空ポンプ | ドライ真空ポンプ仕様 |
| 用途 | 用途 液晶基板有機物洗浄 液晶・有機EL・機能性フィルム・ウエハ |
|---|---|
| ランプ有効長 | 600mm |
| ランプ灯数 | 5灯 |
| 照度 | 50mW/cm2（140mW/cm2） |
| ステージ 搬送速度 |
0.5～5.8m/min |
| ワークサイズ | 600×700mm |
| 雰囲気 | N2・CDA・大気中 |
| 照射距離 | 0.5～30mm ランプ～ステージ間 |
- 関東圏外ですが、レンタルは可能ですか？
- 日本全国可能です。
- スピンコーターの見学は可能でしょうか？
- 可能です。装置を見学いただき、操作性などご説明致します。
- サポート体制はどうなってますか？
- まずは弊社にご連絡下さい。技術スタッフは埼玉県からお伺い致します。
- スピンコーターの運搬、搬入について教えてください。
- 専用通箱での発送となります。（返却時の送料はお客様のご負担となります。）
搬入・搬出作業が必要なケースは、別途費用が発生致します。
発送時の国内運送費（車上渡し）はレンタル費用に含まれております。
- ユーティリティーについて教えて下さい。
- 各種カタログをダウンロード下さい。詳細なご説明をさせて頂いております。
- 標準基板サイズ以外のステージ製作も対応可能でしょうか？
- 特殊基板サイズ用のステージの新規製作の対応は可能です。
- レンタル費用について教えて下さい。
- お問い合わせ下さい。担当者よりご連絡申し上げます。
お支払いは月々の経費会計処理で済みます。（その他に条件が御座いましたら別途ご相談下さい）
- 中途解約はできますか？
- 契約中にスピンコーターが不要になった場合には、中途解約が可能です。
解約の際は別途解約精算費用が発生致します。
（実際に使用された期間の料率が適用されますので、その差額分を申し受けます。）
- 卓上のスピンコーターの新規購入は、可能ですか？
- 可能です。標準機からカスタマイズ装置まで、お客様の仕様にあわせ幅広く対応させて頂いております。
- 装置トラブル・不具合発生時はどうなりますか？
- 弊社が責任を持って装置修理・対応を行います。修理費用は発生致しません。
（但し本装置の取扱とは異なるご使用方法で発生した故障はお客さまのご負担になります）