BOTとはお客様と協力メーカーとの架け橋・プラットフォームとなる技術提案型企業です。

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スピンコーター販売・レンタル

関東圏外ですが、レンタルは可能ですか?
日本全国可能です。
スピンコーターの見学は可能でしょうか?
可能です。装置を見学いただき、操作性などご説明致します。
スピンコーターの新規購入は、可能ですか?
可能です。標準機から自動機・カスタマイズ装置まで、お客様の仕様にあわせ幅広く対応させて頂いております。
サポート体制はどうなってますか?
まずは弊社にご連絡下さい。
スピンコーターの運搬、搬入について教えてください。
専用通箱での発送となります。(返却時の送料はお客様のご負担となります。)
搬入・搬出作業が必要なケースは、別途費用が発生致します。
発送時の国内運送費(車上渡し)はレンタル費用に含まれております。
ユーティリティーについて教えて下さい。
各種カタログをダウンロード下さい。詳細なご説明をさせて頂いております。
標準基板サイズ以外のステージ製作も対応可能でしょうか?
特殊基板サイズ用のステージの新規製作の対応は可能です。
レンタル費用について教えて下さい。
お問い合わせ下さい。担当者よりご連絡申し上げます。
お支払いは月々の経費会計処理で済みます。(その他に条件が御座いましたら別途ご相談下さい)
中途解約はできますか?
契約中にスピンコーターが不要になった場合には、中途解約が可能です。
解約の際は別途解約精算費用が発生致します。
(実際に使用された期間の料率が適用されますので、その差額分を申し受けます。)
卓上のスピンコーターの新規購入は、可能ですか?
可能です。標準機からカスタマイズ装置まで、お客様の仕様にあわせ幅広く対応させて頂いております。
装置トラブル・不具合発生時はどうなりますか?
弊社が責任を持って装置修理・対応を行います。修理費用は発生致しません。
(但し本装置の取扱とは異なるご使用方法で発生した故障はお客さまのご負担になります)
スピンコーターのカップの洗浄方法を教えて下さい。
スピンコーターの安全蓋を開放し、資料台を脱着します。カップは2重構造となっており取り外しが可能です。洗浄剤としては希釈剤、溶剤、アルコールなどを使用してカップ表裏面を洗浄し保管下さい。
スピンコーター・スリットコーターについて
電子デバイス製造装置で培ってきた技術を応用し、ディスプレイ製造分野においてもさまざまなコーターを開発しています。
液晶ディスプレイ分野においては、TFT / TN-STNプロセス用の高感度フォトレジストやカラーフィルターのブラックマトリクス形成用のフォトレジストなど、各種用途に最適なスピンコーター・スリットコーターを提供してきました。主な用途としては液晶ディスプレイ、有機EL、タッチパネル、半導体プロセスに使用されております。フォトレジストなどの材料のほかに、高精度のコーティングを行うことができるスリットコーターやコート&スピン方式の塗布装置も開発しております。
さらに製造プロセスの効率化を図るために、独自に開発した現像装置や洗浄装置を製品化し、フォトレジスト材料と各種プロセス機器の相乗効果により優れた生産効率に加え、最適なプロセス技術を提供しています。
どのような塗布方式がありますか?
スピンコート法 、カーテンコート法、バーコート法、ワイヤーコート法、スリットコート法、凸版印刷法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、 フレキソ印刷法、オフセット印刷法などのコーティング法、若しくは印刷法により塗布することができます。
スピンコーターの塗布実例について教えて下さい
薄膜の作成では電極の付いたITOガラス基板等をスピンコーターのターンテーブルに置き、付属の真空ポンプで引く事によりガラス基板を吸着し固定します。
固定したガラス基板の上にDMF等の溶媒に溶かした(PVDF/TrFE)溶液を一定量滴下し一定回転数で一定時間回すことにより、遠心力を利用して均一な薄膜をガラス基板上に作成します。
レジストとは?
主に工業用途で使用される、物理的、化学的処理に対する保護膜、及びその形に使用される物質のことです。
諸般の製造プロセス内で、スリットコーター、スピンコーター、ディップコーターなどの処理を施す際、被処理物表面の一部を樹脂などで保護し、処理をしたあとに保護膜を剥離することで、被処理物の所望の部分のみを処理することができる。この手法に使われる保護膜をレジストと言います。
処理に耐える(resist)事からこの名がついています。 用途や塗り分け(パターニング)方法で幾種類かに分類されます。

スリットコーター販売・受託テスト

スリットコーターとは?
高精度平面チャックに吸着固定されたガラス基板を跨ぎ、かつ高精密なスリットノズルを備えた門形クレーンガイドが、ガラス基板表面とスリットノズル先端との微少ギャップを高精密に維持しながら、無振動に近い状態で高加速・高速水平移動しレジストを塗布します。各部には精密な細工が施されており、高品質塗布のための要素技術、それを具現化する設計・制御技術と加工・組立技術が揃って初めて精密塗布が可能になります。
スピンコーターとスリットコーターの違いを教えて下さい。
大型基板には通常スリットコーター等のスピンレスコーターが用いられる。特に第6世代以降では、スピンコーターで基板を回転させることが不可能といわれています。
またスリットコーターは,省液(スリット&スピンコーターの1/3)、タクトタイム短縮、フリンジ(基板端部の厚塗り領域)や裏面への回り込みが無いため EBR(エッジ・バック・リンス)処理が必要無くなる、といった利点があります。
工場見学は可能ですか?
可能です。お気軽にご連絡下さい。
少量での試作は可能でしょうか?
可能です。1枚、1シートから対応可能です。
基板、材料、素材の準備をお願いできますか?
お客様にてご準備を頂いております。
加工費用はいくらですか?
仕様やロットにより異なりますので、お打合せ後、別途お見積とさせて頂いております。

フィルム装置販売・受託テスト

フィルム方式とは?
電子デバイスを効率良く量産する手法の1つで、例えばロール状に巻いた長さ数百m,幅1mほどの大きな基板に回路パターンを印刷しやはりロールに巻いた封止膜などと貼り合わせてから、再びロールに巻き取ります。従来方式では個別に切り離された基板を使うためある工程から次の工程に個々の基板を搬送する手間がかかっていました。またそれぞれの製造装置に搬入・搬出部を設けるので、装置規模も大きくなりましたがフィルム方式を採用しますと基板は装置の間を連続的に流れることになり、製造装置は互いに連結されて搬送に伴う手間や装置を大幅に省くことができます。
このフィルム方式と、印刷技術を活用して半導体材料や金属材料を使い回路を直接書き込む直接描画技術を併用すればロール状のプラスチック基板を使い、薄い液晶パネルや軽い太陽電池、床や服などにびっしり埋め込めるセンサなど、これまで実現が難しかった部品を製造できる可能性があります。
薄く、軽く、曲げられるといった性質を実現できる上に、製造コストは従来に比べて大幅に削減できます。中でもITO薄膜をプラスチックフィルム基板に形成した透明導電性フィルムは、液晶ディスプレイをはじめとするフラットパネル・ディスプレイ、電子ペーパー、有機ELディスプレイ、太陽電池、タッチパネル用の透明電極として電子情報社会の必須アイテムとなっています。機能性フィルムの応用商品としましては、ロール状に巻いた状態のままフィルム基板に機能素子を集積し、最終製品の段階でカットされ、電子デバイスを作る新たな製造技術へと発展しています。
納入実績を教えて下さい。
フィルム液晶、有機EL関連、MEMS、2次電池、タッチパネルなど多数実績がございます。
洗浄以外に、実績・納入事例はありますか?
フィルムのフイルムデバイスでは、プラズマドライ洗浄や各種薬液対応の現像・エッチング・剥離装置の実績がございます。
実験機、装置の見学は可能でしょうか?
可能です。いつでもお問い合わせください。
デモ評価やテストは可能でしょうか?
各種フイルム・薄型ガラス・金属箔の洗浄評価が可能です。
搬送・洗浄・乾燥などフィルムの基礎的な評価から、個別でもスピン洗浄やケミカル処理・減圧乾燥・温純水乾燥など 充実した内容で評価できます。詳細はお問い合わせください。
フイルムの搬送機だけの製作対応は可能でしょうか?
露光機・塗工機・検査機などのメーカーに、搬送装置(巻き出し巻取り装置)として納入事例はございますので、対応可能です。

搬送系部品

最小ロットは何個からですか?
製品によって変わりますので、お気軽にお問い合わせください。
JISの標準規格以外の対応は可能でしょうか?
対応可能です。お気軽にお問い合わせください。
ベアリング、マグネットギア、CFRP加工品のサンプル評価は可能でしょうか?
弊社で、サンプル品をできるだけ準備いたしますのでお客様の使用環境に問題がないか、ご確認頂ければ幸いです。
ベアリング見積の依頼方法を教えて下さい。
型番・材質(内外輪・保持器・Ball)・数量がお決まりでしたらその情報を、お知らせください。
材質等不明な場合は、諸条件をご連絡頂けましたら弊社で材質等選定させていただき御見積りさせていただきます。
CFRP加工品の見積依頼方法を教えて下さい。
図面など具体的な寸法図などがございましたら、その情報をお知らせください。