BOTとはお客様と協力メーカーとの架け橋・プラットフォームとなる技術提案型企業です。

フィルム
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フィルム洗浄装置
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フィルム

製品PR・特長

フィルム洗浄をお考えの方に!
フィルム搬送、表面処理、洗浄、乾燥でお困りの方に!
是非お気軽にお問合せ下さい。

フィルム洗浄装置は、ロール状のPET・PENなどの機能性フィルム及びアルミ・銅などの金属箔の洗浄を行う装置です。
ロール状のフィルムを巻出し、粗洗浄から仕上げ洗浄後、液切り・乾燥を行い、巻取る装置となっています。
弊社のフィルム洗浄装置はガラスフィルムなどの非常に薄くて割れやすいフィルムの搬送、洗浄も対応可能です。

  • お客様ニーズに合わせデモ・評価・テストを繰り返し最適な仕様で装置・設備のご提案を致します。
  • 装置構成は多彩なラインナップで技術提案致します。
  • 低張力(8~25N)・低速搬送によるディップ処理で処理部をコンパクトにすることで、
    基材の傷・シワ・ダメージレスで搬送を行います。
  • 純水使用量やフットプリントを大幅に低減できます。
  • 端面支持搬送による両面洗浄プロセス処理が可能。

導入事例

機能性フィルム・有機EL・液晶デバイス・MEMS・太陽電池・2次電池・タッチパネル

対象基板

機能性フィルム・PEN・PET・薄膜ガラス・金属箔など

装置導入事例

フィルム洗浄装置
フィルム現像装置
フィルムエッチング装置
フィルム剥離装置

主な装置構成

対象基板サイズ :200~500mm t = 35~200μm(材質による) コアサイズ 3inch
巻出し巻取り部 :0.1~1m/min・0.5~10m/min
:基板蛇行補正システム±1mm
:HEPAユニットダウンフローシステム
:除電イオナイザーシステム
:切断・貼り合わせ機構
プロセス処理部
:表面改質処理
常圧プラズマユニット
エキシマUVユニット
オゾン熱排気システム
:WET洗浄ツール
超音波洗浄
ブラシスクラブ洗浄
2流体シャワー
ファイナルリンスシャワー
:DRY洗浄ツール
USドライクリーナー
粘着クリーンローラー
乾燥処理部 :エアーナイフ
:IR乾燥
:熱風乾燥

その他画像

装置背面

送り搬送部

3inchコア エアーシャフト

プロセス処理部

端面支持搬送処理部詳細

エキシマUV照射部

超音波処理ユニット

巻取り巻出し部

よくある質問

フィルム方式とは?
電子デバイスを効率良く量産する手法の1つで、例えばロール状に巻いた長さ数百m,幅1mほどの大きな基板に回路パターンを印刷しやはりロールに巻いた封止膜などと貼り合わせてから、再びロールに巻き取ります。従来方式では個別に切り離された基板を使うためある工程から次の工程に個々の基板を搬送する手間がかかっていました。またそれぞれの製造装置に搬入・搬出部を設けるので、装置規模も大きくなりましたがフィルム方式を採用しますと基板は装置の間を連続的に流れることになり、製造装置は互いに連結されて搬送に伴う手間や装置を大幅に省くことができます。
このフィルム方式と、印刷技術を活用して半導体材料や金属材料を使い回路を直接書き込む直接描画技術を併用すればロール状のプラスチック基板を使い、薄い液晶パネルや軽い太陽電池、床や服などにびっしり埋め込めるセンサなど、これまで実現が難しかった部品を製造できる可能性があります。
薄く、軽く、曲げられるといった性質を実現できる上に、製造コストは従来に比べて大幅に削減できます。中でもITO薄膜をプラスチックフィルム基板に形成した透明導電性フィルムは、液晶ディスプレイをはじめとするフラットパネル・ディスプレイ、電子ペーパー、有機ELディスプレイ、太陽電池、タッチパネル用の透明電極として電子情報社会の必須アイテムとなっています。機能性フィルムの応用商品としましては、ロール状に巻いた状態のままフィルム基板に機能素子を集積し、最終製品の段階でカットされ、電子デバイスを作る新たな製造技術へと発展しています。
納入実績を教えて下さい。
フィルム液晶、有機EL関連、MEMS、2次電池、タッチパネルなど多数実績がございます。
洗浄以外に、実績・納入事例はありますか?
フィルムのフイルムデバイスでは、プラズマドライ洗浄や各種薬液対応の現像・エッチング・剥離装置の実績がございます。
実験機、装置の見学は可能でしょうか?
可能です。いつでもお問い合わせください。
デモ評価やテストは可能でしょうか?
各種フイルム・薄型ガラス・金属箔の洗浄評価が可能です。
搬送・洗浄・乾燥などフィルムの基礎的な評価から、個別でもスピン洗浄やケミカル処理・減圧乾燥・温純水乾燥など 充実した内容で評価できます。詳細はお問い合わせください。
フイルムの搬送機だけの製作対応は可能でしょうか?
露光機・塗工機・検査機などのメーカーに、搬送装置(巻き出し巻取り装置)として納入事例はございますので、対応可能です。
  • 03-4503-6532,お問い合わせフォーム
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