弊社はお客様の技術・試作開発に全力でサポート致します。
技術力・提案力・行動力を生かし、お客様にとって安心・信頼できる
ビジネスパートナーとなることを目指しております。
- 短納期・小ロットでも対応可能です。
- 経験豊富な技術者によるトータルソリューション
- 塗布の均一性を追求した精密コーティング
- スピンコーターの貸出レンタルも行えますので、お客様の用途・環境に合わせてご提案いたします。
- ガラス:10mm□～250mm□・400×500mm・G6サイズ
- ウエハ:φ2インチ～Φ300mm
- 機能性フイルム:MAX400×500mm
- 光学レンズ・精密小型部品など
- 各種薬液、レジスト、ポリイミド、樹脂系、水溶性、オーバーコート剤、トップコート剤、など
- 粘度:数cp～10000cp
- 膜厚:1～100μm
- 大学、研究開発機関、産総研
- 素材、材料開発
- 精密部品、光学部品
- 医薬品研究用途
- 自動車精密金型部品
- 化粧品
- 電子デバイス、半導体、液晶
| イエロールーム対応可 | |
|---|---|
| 温度設定 | 18～30℃ |
| 湿度設定 | 40%前後(外気状態による) |
| HEPAユニット | 4台 |
| クリーンブース内排気 | 循環式 |
| 対象サイズ | MAX200mm□基板（対角300mm以内） |
|---|---|
| 装置重量 | 50kg |
| カップ外径 | φ500mm |
| カップ材質 | SUS＋ミガキ#400 |
| カップ処理 | オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） |
| 基板固定方法 | 真空吸着方式 |
| テーブル | オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい |
| スピンモータ | ACサーボモータ |
| 回転数 | 20～2000rpm（基板サイズ、厚みによる） |
| 回転精度 | ±2rpm |
| 回転表示 | タッチパネル上にデジタル表示 |
| 回転制御 | タッチパネルにて設定 |
| 対象サイズ | MAXφ12インチ・250mm□ |
|---|---|
| カップ外径 | φ500mm |
| カップ材質 | SUS+ミガキ |
| 基板固定方法 | 真空吸着方式 |
| テーブル | デルリン製（その他材質） |
| スピンモーター | ACサーボモータ |
| 回転数 | 20～6000rpm |
| 回転精度 | ±2rpm |
| 回転表示 | タッチパネル上にデジタル表示 |
| プログラム数 | 100パターン 10ステップ |
| 対象サイズ | MAXφ6インチ・150mm□ |
|---|---|
| カップ外径 | φ300mm |
| カップ材質 | SUS+ミガキ |
| 基板固定方法 | 真空吸着方式 |
| テーブル | デルリン製（その他材質） |
| スピンモーター | ACサーボモータ |
| 回転数 | 20～9000rpm |
| 回転精度 | ±2rpm |
| 回転表示 | タッチパネル上にデジタル表示 |
| プログラム数 | 100パターン 10ステップ |
| 基盤サイズ | 400×500mm以内 （G6サイズ等は別途ご相談下さい） |
|---|---|
| 基板厚み | 10mm以内 |
| 基板材質 | ガラス・フィルム・プラスチックなど |
| テーブル走行 | ACサーボモーター |
| テーブル速度 | 0～300mm/sec |
| ノズル昇降 | ACサーボモーター |
| ノズル塗布幅 | 60mm、190mm、370mm |
| スリット隙間 | 50μm、100μm、200μm |
| 基板形状 | 0.2mmプロキシタイプ コンタクトの場合昇温したガラス基板上に置いて乾燥 |
|---|---|
| 基板サイズ | 400×500mm以内 |
| 温度設定範囲 | 室温～180℃ |
| 測定器メーカー | 浜松ホトニクス製 |
|---|---|
| 測定器型式 | C12562-01 |
| 測定可能材料 | 透過性の材料 |
| 測定膜厚範囲 | 10nm～100μm |
| 測定精度 | ±0.4% |
| 光源波長 | 400nm～1100nm |
| その他、必要な設備はご相談下さい。 | |
- スリットコーターとは？
- 高精度平面チャックに吸着固定されたガラス基板を跨ぎ、かつ高精密なスリットノズルを備えた門形クレーンガイドが、ガラス基板表面とスリットノズル先端との微少ギャップを高精密に維持しながら、無振動に近い状態で高加速・高速水平移動しレジストを塗布します。各部には精密な細工が施されており、高品質塗布のための要素技術、それを具現化する設計・制御技術と加工・組立技術が揃って初めて精密塗布が可能になります。
- スピンコーターとスリットコーターの違いを教えて下さい。
- 大型基板には通常スリットコーター等のスピンレスコーターが用いられる。特に第6世代以降では、スピンコーターで基板を回転させることが不可能といわれています。
またスリットコーターは，省液（スリット&スピンコーターの1/3）、タクトタイム短縮、フリンジ（基板端部の厚塗り領域）や裏面への回り込みが無いため EBR（エッジ・バック・リンス）処理が必要無くなる、といった利点があります。
- 工場見学は可能ですか？
- 可能です。お気軽にご連絡下さい。
- 少量での試作は可能でしょうか？
- 可能です。1枚、1シートから対応可能です。
- 基板、材料、素材の準備をお願いできますか？
- お客様にてご準備を頂いております。
- 加工費用はいくらですか？
- 仕様やロットにより異なりますので、お打合せ後、別途お見積とさせて頂いております。
